Gofretni tekshirish uchun chiziqli lazer elementi nima?

Yarimo'tkazgichlar sanoatida juda kichik sirt nuqsonlari va zarrachalar asosiy muammo bo'lib, ular hosildorlikni pasaytiradi va ishlab chiqarish vaqti va narxini sarflaydi. Shuning uchun yarimo'tkazgichli gofret yuzalarida nuqsonlar va ifloslanishlarni aniqlash juda muhim, bu yarimo'tkazgich metrologiya sanoatida ko'plab mijozlar duch keladigan qiyinchilikdir. Gofret sirtini tekshirishning tez va tejamkor usullaridan biri, odatda chuqur ultrabinafsha (DUV) to'lqin uzunliklarida 100 nm dan past bo'lgan nuqsonlarni aniqlash uchun lazer chizig'i yoritilishi va qorong'u/yorqin maydon mikroskopiyasidan foydalanishdir. Ushbu usulda Holoor ko'rsatadiki, chiziq radial tarzda skanerlanganda, gofret aylanadi va gofretning katta namuna olish maydonini yaratadi, bu skanerlash vaqtini qisqartirishi mumkin. Ko'pgina ultrabinafsha va chuqur ultrabinafsha lazerlar chiziqli chiqish profiliga ega emasligi sababli, achiziqli lazer elementiko'pincha lazerni chiziq shaklida shakllantirish uchun ishlatiladi.

Yarimo'tkazgichli gofretni tekshirishda chiziqli lazerli optik elementlardan foydalanishga qo'yiladigan talablar

Chuqur ultrabinafsha to'lqin uzunliklarida lazer chiziqlari yordamida gofret nuqsonlarini aniqlash uchun talablar juda qattiq - ko'pincha ular lazer chizig'ini saqlab qolgan holda juda uzun chiziqlar (＞10mm) bo'lishi kerak. 10um tor kenglik va mukammal bir xillik. Qorong'i dala mikroskopiyasi uchun lazer chizig'i gofretga o'tlash burchagida proyeksiya qilinishi kerak va shu bilan birga juda uzun chiziq uzunligida diqqat markazida bo'lishi kerak. Bunday chiziqlarga odatda bitta diffraktsiyali optik element, masalan, chiziqli gomogenizator yordamida erishib bo'lmaydi, chunki ular bir rejimli lazerda dog'lar hosil qiladi, ko'p rejimli lazer esa diqqatni oqilona chuqurlikda qattiq chiziqqa qarata olmaydi.

Ushbu turdagi ishlash uchun Holoorning yuqori aniqlikdagi nurni shakllantiruvchi optikasi lazer chiziqlarini kerakli qirralarning aniqligi, bir xilligi, kengligi va uzunligi bilan yaratishni talab qiladi. Ushbu aniqlikka ko'pincha diffraktsiya optikasi yoki erkin shakldagi optika orqali erishish mumkin.

Gofret nuqsonlarini aniqlash uchun nurni shakllantirish usuli

Chiziqli lazer modullariga qo'yiladigan qat'iy talablar nurni shakllantirish muammolariga bir nechta mumkin bo'lgan echimlar mavjudligini ko'rsatadi, ularning barchasi ko'p komponentli komponentlarga ega diffraktsiya yoki erkin shakldagi sinishi optikasi tizimlarini talab qiladi.

Chiziq uzunligi 10-20mm diapazonda bo'lgan odatiy holatlar uchun bir rejimli chuqur ultrabinafsha lazer aniqlash uchun etarli quvvat beradi. Bu holat bir nechta elementli tekis nurli nurni shakllantirishni talab qiladi, bu erda birinchi element chiziqlar hosil qiladi va tizimdagi oxirgi element difraksion optik linzaga o'xshaydi, chiziqlarni to'plash va ularni tez va sekin o'qlarga qaratish uchun ishlatiladi. Juda uzun chiziqlar uchun odatda ＞50 mm, bir rejimli DUV lazerlar kamdan-kam hollarda yuqori lazer kuchiga ega. Shuning uchun, tor chiziqqa e'tibor qaratish uchun M2 transformatsiyasini talab qiladigan multimodli lazerdan foydalanish kerak. Bunga yaxshi bir xillik hosil qilish uchun Leanline kabi difraksion eritmalarni chiziqli gomogenizatorlar bilan birlashtirish orqali erishish mumkin. Lazer nurlarini ajratuvchi difraksion optik elementlar bir xil intensivlikdagi fokus chiziqlarini yaratish uchun ishlatilishi mumkin. Chiziq gofretdagi radial yo'l bo'ylab skanerlash uchun ishlatiladi, bu esa past lazer quvvatida yuqori aniqlikdagi nuqsonlarni aniqlash imkonini beradi. Bu skanerlash tezligini sekinlashtirishga olib keladi, chunki istalgan vaqtda tasvirlangan maydon sezilarli darajada kichikroq.

In-line lazer elementlarida asosiy shakllantirish elementi sifatida foydalanilganda afzalliklari Difraksion optika gofretni o'lchash kabi talabchan ilovalar uchun lazerni chiziqqa (yoki chiziqlarga) shakllantirishda bir qancha asosiy afzalliklarni taklif etadi:

1. Diffraktsiyali optik elementlar deyarli mutlaq burchak aniqligiga ega - bu aniq masofalarni o'lchash kerak bo'lganda, masalan, aniq metrologiya dasturlarida juda muhimdir.

2. Diffraktsiyali optik elementlar yuqori LDT (zarar chegarasi) ga ega va Doe optik elementlari odatda tekis elementlardir, shuning uchun ular ko'p komponentli tizimlarga bevosita birlashtirilishi mumkin.

3.DOE optik elementlari bir yuzada bir nechta funktsiyalarni birlashtirishi mumkin. Misol uchun, lazer chizig'ini ajratuvchi chiziqli diffuzor bilan birgalikda bir nechta chiziqlar hosil qilish uchun ishlatilishi mumkin, bu ko'p kanalli nuqsonlarni aniqlash imkonini beradi (chiziqli detektordagi piksellarning chuqur ultrabinafsha nurisiz "dam olishiga" imkon beradi).

4. Difraksion optik elementlarga asoslangan lazer nurlarini shakllantirish optikasi juda past issiqlik sezgirligiga ega, deyarli hech qanday termal linzalar yo'q, hatto engil defokus ishlashga zarar etkazadi, shuning uchun u tor lazer chizig'ini shakllantirish uchun ayniqsa mos keladi.

Savol va javob:

1. Gofret nuqsonlarini aniqlash uchun chiziqli lazer komponentlarini qanday ishlatish mumkin?

Gofretni tekshirishda aniqlikka erishish uchun yorug'lik manbalari sifatida chuqur ultrabinafsha nurlar yoki nuqta chiziqlar ishlatiladi. 100nm yuqori aniqlikdagi yorqin yoki qorong'i maydon mikroskopiyasi. Chiziq chiziqli lazer elementi yoki lazer chizig'ini ajratuvchi tomonidan ishlab chiqariladi.

2. Gofretni tekshirishda lazer chizig'ini shakllantirishning qanday qiyinchiliklari bor?

Gofret nuqsonlarini aniqlash kabi metrologik ilovalar odatda talab qilinadigan bo'lsa-da, uzoq o'q (＞10 mm) juda bir xil kuch talab qiladi. Yuqori nuqsonlarni aniqlash ruxsatini saqlab qolish uchun 10um tor chiziq. O'tkir qirralar ham talab qilinadi va qorong'i dala mikroskopida chiziqlar hamon diqqat markazida bo'lgan holda yuqori o'tlash burchagida proektsiyalanishi kerak.

3. Gofret nuqsonlarini aniqlash uchun qaysi nurni shakllantirish usullari qo'llaniladi?

Odatiy chiziqli nuqta - bu ko'p komponentli tizim bo'lib, sirtga yo'naltirilgan tekis ustki, kollimatsiyalangan tor chiziq hosil qiladi. Shu bilan bir qatorda, lazer ajratuvchi yorug'lik chizig'ini ishlab chiqishi mumkin, keyinchalik gofretni aylantirganda radial tarzda skanerlanishi mumkin. Uzunroq chiziqlar yuqori lazer quvvatini talab qiladi, bunga faqat ko'p rejimli lazerlar bilan erishish mumkin. Shuning uchun, lazerli chiziq generatorining optik elementi odatda M2 konversiya komponentini o'z ichiga oladi, bu chiziqni bir o'qga mahkam yo'naltirish va ikkinchi o'qda uni bir xil qilish imkonini beradi, undan keyin chiziqni tekislash varag'i va fokuslash optik elementi.

4. Difraksion optik komponentlarning chiziqli lazer modullariga qanday afzalliklari bor?

Diffraktsiya chizig'i lazer moduli metrologiya jarayonini barqarorlashtirish uchun zarur bo'lgan asosiy parametr bo'lgan deyarli mutlaq burchak aniqligini ta'minlaydi. Ular, shuningdek, tekis, yuqori shikastlanish chegaralariga va bir nechta optikani bitta sirtga birlashtirish qobiliyatiga ega, bu ularni yuqori quvvatli DUVlar bilan ishlaydigan ko'p komponentli tizimlar uchun ideal qiladi.

Bog'lanish uchun ma'lumot:

Agar sizda biron bir fikr bo'lsa, biz bilan gaplashing. Mijozlarimiz qayerda bo'lishidan va bizning talablarimiz qanday bo'lishidan qat'i nazar, biz mijozlarimizga yuqori sifat, arzon narxlar va eng yaxshi xizmatni taqdim etish maqsadimizga amal qilamiz.